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45还是28,路阳肯定是想直接一步到位的,但他现在不清楚双工件台技术是否匹配,还有海思这边的研实力,如果选择了后者连设备都启动不了,那就算有系统也白费。
廖锡昌知道路阳的想法,肃然说道:
“选择45还是28,我给诸位一个参考方向,第一,就是要能让机器顺利运行,第二,研进度的预估,如果28纳米需要用1年时间才出结果,那肯定是选择45纳米,这需要何总这边的考量。”
何洪年皱眉紧思,手中的资料并不复杂,里面详细介绍了每项技术的进度,如果是单工件台技术,28纳米的机会也不小,但是双工件台的话,他不好预估。
几名相关方向的总工也开始议论起来,
“华卓工件的朱教授我认识,去年我曾去那边看过,他们双工件台的技术还停留在低端制程上,单工件台可以达到9o纳米的精度,距离我们的要求还很远。”
路阳听后大受打击,2o18年的技术还差这么远吗?
廖老说道:“你这个判断是对的,申城微电子9o纳米duV光刻机使用的就是华卓的工件台,资料各位也看到了,关于工件台与控制系统,9o纳米的制程技术是比较成熟的,以海思的研实力,我相信如果选择单工件台,45或者28各位应该有一定的把握,对吗?”
温天洋缓缓说道:“廖老过誉了,工件台主要还是高精度的控制问题,工件台用于承载硅片,掩模台用于承载掩模板,实现对准、调平调焦、步进和扫描曝光的功能,两者需要在高、高加度下实现纳米级甚至亚纳米级的精度,28纳米的精度需要对工件台和掩模台的跟踪定位精度要求小于1纳米。”
另外一名总工补充道:“双工件台,一个台子用于测量,一个台子用于曝光,两者之间的精密同步才是最难的地方,如果研单工件台,我们无需考虑同步问题,如果是双工件台,那所需的工作量不是翻一倍那么简单。”
路阳开始有点跟不上节奏了,asmL的euV光刻机目前使用的也只是单工件台,由此可知两者的之间的技术难度有多大。
廖老沉思几秒,说道:“何总,如果只是让工件台顺利运行,暂时不考虑误差,你们把握如何?”
看来廖老跟路阳的想法一致,都是想一步到位,利用路阳的能力实现优化。
对廖老的问题,何洪年感觉到有些诧异,作为华国芯片第一人,在研上不该如此激进,想了下还是回答道:
“如果不考虑误差的话,我想年前我们能攻关出来,不过误差的后续调整往往会直接卡住整个项目,到时可能都得一切从来。”
一旁的几名总工也附和道,光刻机本来就是最精密的设备,不考虑误差最后的成品便无法交付。
“既然诸位都签了保密协议,有些事你们知道也无妨,现在我们正全力研euV光刻机,在工件台方面,有华科院还有十几所高校的专家正在全力计算,如果两边在一些通用计算上能配合起来,会省很大的功夫。”
廖老也只是找了个借口,没想到海思众人脸上却是一副原来如此的表情。
温天洋这下完全明白了为何在这么关键的时候,华微抽调这么多的研人员,孤注一掷,押宝华芯,euV三个字深深印入了他的脑海。
“如果是这样的话,我建议直接上28纳米,双工件台!”
路阳一怔,大哥,廖老那是在吹牛,只是借口啊,你们究竟在脑补些什么啊?
其他人居然都没提反对意见,连一向稳重严谨的何洪年似乎都充满了信心。
廖锡昌也被这突如其来的结果给搞懵了,脸色一变,“各位,2个月时间,有把握让设备运行起来?”
温天洋笑道:“廖老,设备现在不正在运行吗?如果是新造一台机器,那肯定没可能,但只是改造升级的话,最难的镜片工艺已解决,浸没式技术申城微电子那边已有进展,剩下的无非就是工件台与其他控制系统方面的问题。”
“这些其实大部分都是数学计算的问题,这次来的团队不光是海思的,还有华微总部的科学家们,我相信2个月的集中攻坚,我们还是有机会的。”
路阳被温天洋的这番话说得怦然心动,消失的火苗再次燃起,看向廖老,这种事还是需要老人家来下决定。
见对方这么一说,廖老似乎也觉得有一定道理,在一台已经运行的设备上改造,而且只需要他运行起来,哪怕最后流片良品率是个位数,都能后期优化。
最终,双方达成目标,直接一步到位,把苏硅半导体的9o纳米浸没式duV光刻机改造成28纳米浸没式双工件台duV光刻机。
廖老没参加晚宴,直接带着助手赶回申城微电子那边。
这两天第一批euV光刻机的镜片就会运抵申城,在华微的帮助下,胡稚那边采购的一些核心部件也会运回国内,光刻机所需的各类零部件到位大半,现在廖老正在全力改造存放实验机的净室。
晚宴由周怀义与王顺和主持,几轮下来,双方关系更为融洽。
“何总,有什么需求尽管给王总说,一定全力配合还海思的团队。”自从周怀义开始主持工作后,掘了另一项技能,那就是酒量,简直深不见底。
“周总,这次华微申城公司为了配合我们,在园区那边拨了一栋楼给我们使用,距离苏硅也就半小时车程,其他方面你们也尽管放心,公司都有安排。”何洪年一直紧绷的情绪,今天终于得到释放。
一是看到了希望,二是廖老那边确认了他的推测,以目前的信息汇总来看,euV光刻机的研一定是国家在后面支持,有别于以往的任何一次,这回很低调,外界几乎一无所知。
“路总,这回还是要多谢你啊!走一个。”
两人碰杯,一饮而尽。
“年哥,任老那边还好吧!”路阳一直对没能帮到孟文心的事耿耿于怀。
何洪年双目爆无以比拟的气势,“任老不会倒,华微也不会倒,这种局面早在预料之中,现在我们反而更有信心了,因为华芯!”
华芯,当初周怀义随便取的一个名字,华国之芯,早晚一天,会名副其实!
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