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第63章 与28的选择（第1页）

次日何洪年带领的海思团队如约而至，随行的有温天洋以及2o多名技术总工。

这是双方的第一次碰头会，华芯这边除了周怀义与路阳，还有苏硅现在的负责人王顺和。

廖老出席并主持了会议，地点选在苏硅半导体这边，时间对于两边都是分秒必争。

一番简单介绍后，廖锡昌直入主题，直接说道，

“今天是12月5日，距离春节不到2个月时间，希望在节前能拿出成果，你们手上的资料是关于9o纳米duV光刻机的升级改造计划，路阳，保密协议都安排好了吧。”

没待路阳回答，何洪年先说道：“廖老放心，这次来的团队都做好了审查，也签署了相关保密协议，今天到场的人员签署的都是最高级别的协议。”

这第三次的接触，华微海思这边整体感觉像换了个人似的，短时间内便组织筛选好人员，胡稚那边也传来好消息，在华微的帮助下，采购计划顺利了许多。

“那就好，大家先看看你们手上的资料，今天会议主要目的就是，升级成45纳米的精度还是直接到28纳米，两者的难度都做了详细的标注。”

光刻机分为三类：一是主要用于生产芯片的光刻机；二是用于封装的光刻机；三是用于Led制造领域的投影光刻机。

其中用于生产芯片的光刻机，根据不同的技术路线和技术参数也分为泵灯光源光刻机、duV光刻机、euV光刻机。

国内其他低端制程的芯片目前主要使用的就是来自岛国的泵灯光源光刻机，主要生产的芯片都在2oo纳米以上，满足大部分的基础需求。

国际上主流使用的就只有duV与euV光刻机，目前euV已逐步交付，遗憾的是华国买不到，都被台鸡电与三星垄断。

两者主要有以下区别：

duV光刻机最小分辨率为7纳米，使用浸入式技术，制程最高可达3-5nm，但成本巨大技术难度极高，因此duV极限分辨率为7nm，本次改造的最终目的就是想一步到位。

euV光刻机则用于7纳米以上的精密制程，路阳在穿越米国已经实现了1纳米的极限制程，打破了摩尔定律，对于华国来说，这条路还很漫长。

事实上，在浸润式光刻机推出之前，业界采用的均是干式光刻机，即介质为空气，193nm波长的光线，直接进行光刻。

而在干式光刻机技术中，尼康、佳能才是巨头。早期asmL，还只是一个小工厂，与尼康、佳能完全不是一个级别的。

后来是asmL押宝浸润式光刻机，某了尼康、佳能的命，把尼康、佳能踩在了脚下，而浸润式光刻机技术的明者正是来自台鸡电的林本坚博士。

干刻的原理并不复杂，直接使用193纳米波长的光线进行光刻，极限精度在65纳米。

湿刻就是让193纳米波长的光源，经过水的折射后，获得更短波长的光源，这便是浸润式的核心原理了。

路阳获取的euV制造资料中就有浸润式的详细内容，虽然是用于euV的，但原理相通，廖老在拿到资料后就组织申城微电子那边做出了一套适合duV光刻机的浸润式技术，并且还不受专利限制。

专利的判定方式非常复杂，这里就不再赘述，都是浸润式技术，其中的一些核心改动后是可以规避掉的。

今天廖老拿出的资料中就有改动后的浸润式技术，这耗费了申城微电子将近2个月的时间。

会议室内一片安静，海思团队的人都在认真看着资料。

温天洋作为海思的技术总监，越看越是心惊，无论是duV还是euV原理早已是公开的信息，其中的技术细节都只是知道名字而已，难怪总部会下这么大的决心，华芯这边的技术力量实在太强了。

“廖老，冒昧问一下，申城微电子这边现在已经使用了这套浸润式技术了吗？”

廖锡昌回答道：“已经进入调试阶段，距离实验流片还有一段时间，不过一旦那边成功，华芯这边可以直接使用。”

何洪年一怔，申城微电子与华芯的关系不简单啊，实际上两家的关系从12纳米硅片技术转让开始后，早已密不可分，申城微电子那边获得了苏硅cmp技术，改进的duV光刻机技术。

上面也有意无意的让申城微电子成为打在明面上的一张牌，至于华芯，现在业内不清楚的人还在认为那是另一个“汉芯”或者“龙芯”，前者骗局，后者多年未曾落地。

何洪年继续问道：“这上面没并有详细的镜片工艺，我是不是可以这样理解，这块已经解决，只剩下组装问题。”

他是知道廖老在负责euV光刻机研的，以euV对镜片工艺那种变态的要求，如果镜片工艺没有突破，根本就进不到下一步。

廖老点点头，并没多说，何洪年内心一喜，得到了他想要的答案。

“廖老，现在镜片的工艺到什么级别？没有对应的参数标准的话，我们在设计上不好预估。”一名光学方面的总工问道。

这就是路阳一直担心的问题，如果不告诉海思一些核心的数据，他们的研便没有了基础。

好在廖老早有准备，“这方面你们不用担心，由于保密关系，工艺级别我不能告诉你们，但你们可以参考asmL最先进的duV镜片工艺来设计，华芯这边保证做出对应级别的镜片即可。”

好家伙，海思众人被这句话深深震撼，只要他们提要求，就一定能做出来，华芯虽然成立时间短，技术方面是真的深不见底啊。

终于有人提到了最重要的问题，“廖老，资料上提到了双工件台的技术，我想问现在成熟了吗？”

“华卓工件的朱易教授过几天会加入到我们的研团队中，我想在这次的升级中，直接加入双工件台技术！”

路阳还是第一次开口，众人不会再小看眼前的年轻人，就凭他们手上拿着的资料，无人再怀疑华芯的决心与实力。

“这么说路总是倾向于28纳米精度了？”何洪年问道。

45还是28，这是个问题？