手机浏览器扫描二维码访问
高能物理研究所本就是研究核能物理的等先进技术的地方,在布一楠之前就已经着手开始了国产光刻机的制造。
但是因为工艺水平和理论限制一直没有大的突破。
布一楠想造光刻机,邓玉峰就将高能物理研究所的事情告诉了她。
布一楠之后就将光源部分交给了对方,他们本就有一些设计理念和思路在,加上布一楠的技术至此也花了将近两个月才搞定这些。
只是想到组装光刻机过程的时候,布一楠却现自己还遗漏了一种物品。
智者千虑必有一失,她这是彻底忘记了这东西也没有卖的,得现造啊!
光刻胶。
如果把光刻机形容成半导体行业的皇冠的话,光刻胶就是这皇冠上最璀璨的明珠。
虽然光刻胶仅占半导体材料行业的5%,但是光刻胶是芯片制造行业中最核心、最关键的三大件之一。
硅片,第一;光刻机第二,第三就是光刻胶。
整个晶圆制造过程中,光刻耗时约占整个工艺的4o%-6o%。
光刻胶(photoresist)又叫光阻剂或光阻液。
光刻胶是一种能把光影化为现实的胶体,有着正胶负胶之分。
其中正胶是一种见光死的材料。
但是在暗中却异常坚挺,被特定波长的光线照射就会疲软,继而能被溶解清除。
负胶则和正胶刚好相反。
所有光刻技术就是利用光刻胶的这种光敏性,来雕刻芯片。
(目前全球五大光刻胶生产厂家其中四家是日企,一家是美企)
例如,我们要造一个沟槽式的内存芯片(dRam),先在暗中给硅片涂一层光刻胶,再照上光掩膜进行曝光,让光线按照光掩膜上设计好的坑位通过照在光刻胶上。
这些胶体就会疲软,随即被溶剂洗掉,而剩余坚挺的光刻胶成为了保护膜,接着用能腐蚀硅的溶剂,把没有光刻胶保护的坑位区域腐蚀掉一层,最后再把光刻胶保护膜清除,就完成了大量深坑的精确雕刻。
同时这种对硅片定向做减法的腐蚀,就是刻蚀(etnetg)。
刻蚀、沉积、注入粒子就是光刻的基本步骤。
而硅片的每一次光刻又要经过8个步骤,3个烘焙。
光刻步骤:
1清洁及表面处理
用去离子水清洗后,为了给硅片做增黏处理,会用六甲基二硅胺烷的气体(hmds)熏蒸硅片,使硅片表面充分脱水。
2旋转涂胶
在硅片中间旋转滴入硅刻胶,让硅片高转动把胶体摊开,在以较慢的度旋转,让胶体厚度稳定,接着去边处理,去掉边缘一圈的光刻胶。
3前烘
涂胶后机械臂拿出硅片放入烤箱或热板上进行烘焙,目的减少光刻胶中溶剂含量,让其更加浓稠坚固,提高与硅片的附着稳定性,一般1oo°左右的温度烤一分钟,因为光刻胶不耐高温。
4对准和曝光
光掩模、透镜组和硅片工作台精密对准和调频,光源放光,移动硅片台让硅片有序曝光。
5后烘(peb)
通过加热让光刻胶中的光化学反应充分完成,可以弥补曝光强度不足的问题,同时减少光刻胶显影后因为驻波效应产生的一圈圈纹路。
6显影冲洗
后烘后把曝光的部分溶解清除,光掩膜上的图像就复现在了光刻胶上。
再具体一些就是用去离子水润湿硅片,把显影液(四甲基氢氧化铵)的水溶液均匀喷淋在光刻胶表面,让光刻中被曝光的部分充分溶解,最后用去离子水冲走(45纳米以下的制程,因为尺寸太小溶解残留物比表面积过大,黏附力强,需要加喷氮气)
7坚膜烘焙
作品简介穿越聊斋世界,狐姑为母,龙女做妻。凭借一幅宝卷,豢养无数巨妖大魔,问鼎大道,成就长生仙途。从此天不能拘,地不敢束。...
冷酷杀手诸天万界嘴毒心黑腹黑渣男戏精附体。我叫宋玄,万万没想到。毕业季没找到像样工作的我,成为一名时空杀手,任务清理各位面无穷无尽的穿越者。可第一个世界,他就觉醒了长生无敌系统,活得越久实力越强。每十年还有一次抽奖!于是,同事打生打死拼命,他却只需要做一件事儿。熬!!苟着苟着同事们都死光了,宋玄成为诸天之主。在港综,综武,综漫,漫威,游戏,甚至鬼片世界里,和女鬼们潇洒快活。第一世界洛丽塔低俗小说这个杀手不太冷。第二世界港综枪火古惑仔龙城岁月以和为贵江湖告急...
简介关于穿成小福宝,人称坑哥小能手我堂堂一代影后,居然赶时髦穿越了!我的亿万别墅啊,天杀的老天,还能让我再惨点么?幸亏有个空间!空间在手,天下我有!想坑我,没门!女主叶影以为有了空间里物资可以躺平,悠闲做一条咸鱼,躺平。却现原来一切都是自己想多了!叶影睁开眼看到破旧的土匹房,眼前自己的小手晕了过去老天爷,你至于这么玩我吗?怪老头说我是我又不是我!叶影那我是谁?男主寂无辰,出场比较晚!文中影宝,你刚刚咋的了?嘴里叫着…什么什么粉,那是什么是吃的嘛?小哥叶铭晨一脸惊吓过后的询问着。小妹,到底是什么粉?你见过或者吃过吗?小铭晨顶着一个圆圆的光头疑惑地问道。想什么来什么,我这嘴是开过光吗?...
收徒半无敌冲师逆徒杀伐果断日常养成流陆青安穿越后获得最强宗门系统,收徒就能获得丰厚奖励。培养徒弟和提高宗门知名度就能变强!这还等什么?徒弟!为师来了!结果却被系统告知实力太弱,现在出去容易死陆青安只好待在山上努力修炼两年半。下山后的他发现这个世界的妖魔势大,祸乱人间,魔教和邪修动辄血祭百万生灵。好一个弱肉强食的世界!仙家遨游天地,修仙长生!没有灵根的人,只能沦为刀俎待割之鱼肉。大徒弟是一个满门被杀的可怜少女,没有灵根的她却有着天仙剑体!此子不凡,合该入我门下!即将被扒皮抽血的单纯龙女,陆青安顺手救下后就被套牢了。还有被逐出师门傲娇圣女,以及国破家亡的女帝。终会再次相遇的东海鲛女冥冥之中自有天意。没有灵根?没关系,只要入了我门下,包你无敌的!问道宗欲修仙道,先修人道,人道不修,仙道远矣。诸天气荡荡,我道日兴隆!壮哉我问道宗!此宝不凡,与我问道宗有缘!N年后,问道宗成为了大千世界的第一宗门!某天,被世人称之为道君的陆青安坐在大殿瑟瑟发抖的喊道你们想干嘛?我是你们师尊啊!这样是不行的,不要!不要啊!师尊乖~...
群号1o31667896,唯一本人创建。火影篇木叶59年,带着魔方系统穿越火影的蓝原明义很慌,因为他快被鱼摊老板打死了这时,一个蓝女人出手救了他。神奇宝贝篇结束了卡洛斯地区的旅行,小智回到了故乡真新镇,面对来自雨之国地区晓组织联盟十天王之的蓝原明义,取得亚军的小智以惨败收场,目光火热且真挚的看着我在晓组织当实习生...
上一世错信渣男把自己害死了,付出一切换来凌迟的下场。重来一世,她亲自揭开渣姐虚伪的面孔,撕开渣男的伪面目。顺手把她上一世辜负之人,捧在手心里宠着。这一世,绝不负良人分毫。...