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还没等大家欣赏完,高振东向俞允成点了点头,俞允成下了指令:“准备一下,拉第二根!”
考虑到彻底冷却之前,很多检验是做不了的,高振东和俞允成商量之后,决定一次性拉三根。
这东西体积可不算小,要彻底冷下来,也不是短时间能做到的。
干脆,整三根出来,也能检验单晶炉和单晶硅对应工艺参数的可重复性,要知道,他们这个单晶炉可不是只准备搞个研究,只验证这条路线的可行性,而是要验证单晶硅量产的可行性。
一旦成功之后,这个单晶炉是要作为标准硅单晶生产设备量产的,自然相关的试验要求比拉一根试试要复杂、严谨得多
否则以高振东的技术,加上俞允成的经验,也不会花上这好几个月了。
说起这事,俞允成就不由得泪流满面,豪横啊,想起自己拉4?9硅单晶的时候那捉襟见肘的情形,籽晶只有一枚,一旦失败,下一枚的资金都还没有着落。
再看看这里,一次就买了3枚,而且试验之前,高主任更是放话了,不要有压力,这3枚废掉了,总结经验,吸取教训,改进设备,调整工艺,再拉就是。
这就是背靠大树的感觉啊。
听了俞允成的指令,整个项目组的人很快行动起来,赶紧赶紧。
三根拉下来,加上其他七七八八的准备、试验、数据记录、收尾等工作,也要花不少时间。
中间大家甚至还换班轮流去食堂吃了个饭,试验室有管理规定,尤其是正式试验期间,不能在实验室吃饭。
到了下午,三根硅单晶棒都拉制完成了,第一根已经冷却得差不多,送到检验室去了。
高振东没有离开,研究组的人也都在试验室,一个也没有离开,虽然把握很大,而且高振东给出的条件也不是一锤子买卖,可是眼看要出结果了,还是有些紧张。
他们并没有意识到,这涉及到一个行业的开创,未来几十年最为热门的技术方向,就是靠着刚才那几根黑乎乎亮闪闪的棒棒奠基的。
高振东也有些紧张,这个单晶炉,是他靠资料还原设计的,而不像DJS-59是系统出品,不过他脸上表现出来的,还是一副胸有成竹,云淡风轻,气定神闲的样子,他是领头的,下面的人可以慌,他不能。
他的神态,也让整个研究组的氛围都轻松了下来,老大都不慌,我们慌什么,学学高主任,镇定一点。
到了快吃饭的时候,第一根硅单晶棒的第一批数据回来了。
“来了来了,成了成了!”
拿着数据奔过来的组员,一脸的兴奋,手里挥舞着几张纸。
听见“成了”两字,大家都彻底放松了下来,虽然这只是第一根的第一批数据,但是这已经代表这一步是稳了!
高振东站起身,把手伸了出来:“给我看看。”
他从组员手中接过数据,和俞允成两人脑袋凑到一起,一行一行的看了下去。
“杂质浓度,3ppm!哈哈。”俞允成笑出声来,最要紧的一项指标,已经达成了。
();() 3ppm的杂质浓度,意味着硅单晶的纯度达到了99.9997%,妥妥的5个9硅单晶,甚至已经开始接近6个9了!
这比他一开始的目标:5个9,杂质浓度下降了好几倍。
对于俞允成来说,一开始想都不敢想!
高振东对此也非常高兴,毕竟他知道这个单晶炉是靠谱的,但是具体能靠谱到什么程度,那还是不知道的。
毕竟设计归设计,实现归实现,设计指标八楼高,实际成果地下室的事情也不少见。
杂质浓度对于硅单晶来说非常重要,在制作半导体器件的时候,为了得到需要的特性,对硅单晶进行掺杂的时候,常用的掺杂浓度单位是ppma、ppba,前者更多用一些。
从这两个掺杂浓度单位就知道,1ppm的有害杂质对于半导体器件的影响有多大了。
实际上科技发展到高振东穿越的时候,半导体工业硅单晶纯度动不动就是9个9,而极限能做到16个9!
不过现在5个9的也能用了,更别说现在这个“半步6个9”的产品了。
不过还不能高兴太早,他们一项一项的继续往下看。
“晶体结构,没问题,单晶没跑了。”
“晶向,没问题。”
“电阻率,在预计范围内。”
一路看下来,两人神情振奋,别的不知道,至少这第一根,能看到的项目,是都妥了。
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