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第82章 芯片生产线（第1页）

会议室重新归于平静，李学委和董学委、梁所长他们三人继续认真的看技术资料，偶尔也会四人简短交流讨论一下。

三人中看芯片技术资料的董学委在看到聚乙烯醇月桂酸酯、叠气氮醌、硅氧烷、丙烯酸树脂几种正负性光刻胶制造工艺。

以及四甲基氢氧化铵、乙二胺磷苯二酚、联铵这几种湿法刻蚀用腐蚀溶液的制备技术时是越看越认真。

他按捺住立刻回去进行实验检测的心情，将资料拿在手上对余知远说“有你的这些技术资料，我相信国内半导体技术绝对能大跨步的提升……”

“你给的这资料太重要了，小余，谢谢你”

面对董学委郑重的道谢，余知远也认真地对三人说“我是这个国家的一份子，能为国家做出一些贡献我义不容辞”

“当然，这也有我为了自己的利益原因，我希望国内能尽快统筹规划把光刻机和芯片制造技术提升上来，到时再上马芯片制造，以我们更好的技术，更低的成本让领航公司在世界芯片制造方面占据一席之地”

“我相信只有我们真正掌握了更先进的光刻机和芯片制造技术，那必然能对国家的科技、经济、产业带来更多更大的利益。”

余知远说的这些都是他的真实想法和肺腑之言，因此也就说得情真意切，既不会显得高调也不会显得夸夸其谈。

李学委和梁所长他们三人听完皆是连连点头说“一定，我们一定都会做到的，小余”

“我有信心肯定能做，因为我们大家一直都在这条道路上奋斗着……”余知远说。

想到因为时间关系，参观两家芯片工厂时看到、所了解到的各种工艺流程、生产设备资料没来不及绘制，他对面前三人问“不知道国内的光刻机是接触式还是接近式曝光的？线程精度能达到多少？”

董学委和李学委两人对望了一下，李学委告诉余知远“国内现在是接近式的了，线程光刻精度能做到4微米，多重曝光的话可以做到2.5微米，你参观的那两家芯片工厂里他们用的光刻机精度能做到多少啊？”

余知远回到“英特尔和奇诺格芯片工厂现在使用的光刻机大部分为美国地球物理公司（gca）制造的48oo型号步进扫描式光刻机”

“还有一部分用的是尼康公司最新出的nsR1o1o的机型，两家工厂的技术员说这两款光刻机的光刻精度都达到了2.5到1.5微米的精度”

“这两款机型中美国厂的光刻加工效率能达到每小时14o片左右，日产的能达到12o片左右”

“我还听他们说地球物理公司已经在准备开i线紫外光源的机型，说可以让光刻精度跨入纳米级……”

余知远最后表示他对两家厂商用的芯片生产设备、制造工艺都做过仔细了解，如果院里要进行全面了解的话他可以凭良好的记忆力将生产线上的的光刻机、涂胶机、刻蚀设备和工艺流程等做个全面的描述，又或者绘制出来。

董学委他们一直都非常想具体了解国外芯片工厂的生产工艺、技术、设备等具体信息，但一直都因不被允许参观而无从知晓。

现在听到余知远这样说，梁长泰和董学委他们都瞪大眼睛，眼神中放出惊喜炙热的光芒连连说好，立马放下手中的资料去拿来稿纸和绘图工具交给余知远，让他当场就把考察时了解到的工艺流程、设备工作原理、外观等技术做个全面描述。

在三人急切的期待下余知远开始绘画，同时也对他们询问的一些技术问题进行解答。

将参观时看到、了解的芯片生产工艺流程、所用设备等资料快写好、绘制好时，梁长泰提醒到“小余你再想想，会不会落下什么部件或设备没有画呢？”

“没有了，记得的都在这些草稿上面”余知远说。

董学委他们将图纸各自拿了一些在手上看，不时对资料里的信息和国内的工艺流程、设备等技术作比较讨论，直到余知远感觉肚子有点饿了，抬手看了一下手表时间现已经过午饭时间，他们四人在会议室内到现在竟然不知不觉已经待了有五个多小时，近六个小时。

他指着手表时间说“董老、李老、梁所长，我们吃了饭再继续怎样，了解这些资料信息可以慢慢看”

梁长泰看了下他自己的手表后立马说到“对对对，赶紧吃饭，没想到这一待就五六个小时了，饭点都过了”

“阿！饭点都过了？”李学委和董学委两人抬起头来惊讶的问。

董学委对着余知远说“不好意思啊小余，你这些资料非常的重要，我们只顾到看资料，都忘记招待你吃饭了”

随后他让梁长泰带着余知远赶紧去食堂吃饭，他则和李学委将所有的资料如获至宝般带在身上急切的离开，准备迅安排人对资料里的技术进行实验和验证。

其中性子比较急的董学委更是直奔化学所，说要先对光刻胶进行制备验证。

梁长泰则带着余知远去半导体所的食堂，两人在里面简单的吃了碗面条后由他带着余知远在所里到处参观。